西北首条8英寸芯片生产线成功通线投产

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（全媒体记者  李旭东）11月28日，记者从陕西电子信息集团获悉，由陕西电子信息集团为投资主体建设的陕西电子芯业时代科技有限公司8英寸高性能特色工艺半导体生产线近日实现通线投产。

作为西北地区首条8英寸芯片产线，该项目总投资45亿元，一期已完成投资32亿元，设计月产能5万片晶圆，未来可扩展至10万片，标志着陕西在高端半导体制造领域取得重大突破，将为我国功率半导体国产化替代注入强劲动能。

项目聚焦工业级、车规级功率器件（如IGBT、碳化硅芯片），直接服务新能源汽车、风光储能、人工智能数据中心等国家战略性产业，有效缓解高端芯片进口依赖问题，与西安已有的亚成微、奕斯伟等200余家半导体企业形成“材料-设计-制造-封测”全链条生态，进一步增强陕西集成电路产业竞争力。

项目主要技术包括创新型新结构中低压器件、高可靠中高压功率器件、满足特定应用需求COT功率集成电路等工艺平台，同时充分利用项目属地优势，在高校院士团队支持下和终端应用企业牵引下，协同进行前沿产品技术开发，加快推进核心功率器件等各式先进芯片国产替代及技术引领的目标。

据悉，该产线同时预留12英寸产线升级空间，并实现关键设备自主可控——主工艺设备国产化率超60％，辅机辅件国产化率接近90％。此外，超80％的设备可兼容第三代半导体研发与生产，为碳化硅等前沿技术布局奠定基础。

截至目前，洁净室环境及厂务动力系统均已达标投运，光刻、刻蚀等核心工艺区通线设备调试已基本完成，产品良率已突破95％，年底将累计实现数千片晶圆生产销售。