我国首条非硅微机电中试生产线在山西惠丰试制取得新突破

张硕御月

         
          微机电系统是微米大小的机械系统，包括不同形状的三维平板印刷产生的系统，属于国内领先、国际一流的高新技术项目。近日，从我国首条非硅微机电中试生产线的诞生地——中国兵器工业集团山西北方惠丰机电有限公司传来喜讯，在该公司和212所、北理工、上海交大等院所的强强联合下，经过了广大科技人员历时3个多月的工艺开发，试制工作取得了阶段性突破，通过采用非纳米技术和国际尖端的三维半导体微细加工工艺，样品已生产试制出来，填补了国内空白。
         非硅微机电中试生产线为国家专项投资，于2006年奠基，由国家信息产业部电子第十一设计研究院北京分院设计，总包单位为中国电子系统工程第四建设有限公司，整个工程于2007年竣工。山西惠丰公司为国防科工委微细结构加工技术研究应用中心理事长单位和应用依托单位，技术依托单位为北京理工大学、哈尔滨工业大学、清华大学等十一家院校和企业等共同组成。
         据悉，此次生产试制出的样品与原部件相比体积缩小了七分之一，尺寸和精度均达到了设计要求，替代了传统的机械部件，创新了设计思路和加工方法，实现了工艺创新的新跨越、新突破。同时，该项技术还可拓展到军工制造、汽车安全、生物医学等领域的高端制造，市场前景和经济效益十分看好，是企业走出“红海”、超越“蓝海”、驶向“深海”的创新实践。
（李红兵）

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安钢张其将

走出“红海”、超越“蓝海”、驶向“深海”
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