常言道，技多不压身。“靖江工匠”、江苏先锋精密科技股份有限公司研发部总监贾坤良就是属于“技多”的人。在大学里，他文理兼修，学了两个专业，机电一体化和英语。把机电一体化学好，可以做有技能的工人，或者带一个技术团队。把英语专业也拿下，是因为工业顶尖技术的明珠掌握在欧
美国家手中，英语便是他自我提升、扩大眼界而做的精准文章，是自我的觉悟。
H$rNT/C 确实，社会需要这样的复合型人才。
U#g ,XJ 大学毕业后，贾坤良在大连的一家工厂从事数控机床设备的组装与
培训，也是专业对口。后经人介绍，贾坤良回到靖江，进入江苏先锋精密科技股份有限公司。
JIU8~D 先锋精密科技从事半导体装备零部件的研发与制造，这个板块当时对于国内行业是块空白，所有人毫无经验可言，所以先锋提倡从基层实践中培养专业化的科技人才。于是，贾坤良把车间一线当作先行区，用心到生产的每一个环节，积累了丰富的实践经验。靠着刻苦钻研和不懈努力，不到一年，贾坤良就由操作工晋升成为工程师。那时，半导体设备精密零部件的生产加工都是按照图纸来，而图纸上的说明都是英文标注的，这时候，贾坤良的英语技能发挥作用了。从此，先锋多了一个“写”工艺、规划工艺的工程师。贾坤良认真地写，但又不满足于“写”，他要做一个研发工程师。
ZVni'y m 先锋精密科技的产品主要用于刻蚀机、薄膜沉积设备、光刻机等芯片制造设备，它们都是芯片制程里不可或缺的精密零部件。这些精密部件，国内半导体设备厂商大部分都是通过进口获得，这似乎又压缩了贾坤良的
创新空间。
?5j} &Y3 眼界决定格局。贾坤良看到了行业的“高”——半导体芯片是信息化时代的基石，也是当今尖端制造的制高点。同时，他也预见了行业的“难”——半导体精密零部件的研发制造，不仅是半导体芯片制造设备中难度较大、技术含量较高的环节之一，也是国内半导体设备
企业被“卡脖子”的环节之一。原创性、引领性的科技攻关，成了贾坤良的目标。
QE4 TvnhK 对于有准备的人来说，机遇总是和挑战并存。2011年左右，国内龙头半导体企业所用的晶圆加热器严重依赖进口，开始寻求国产替代产品，寻求合作。由于国产化晶圆加热器的研发难度大、前期投入大、周期长、成本高等问题，国内很多企业都知难而退。当时的先锋虽然也缺乏相关的先进设备和焊接技术，但为了助力半导体装备国产化，也为了先锋日后的
发展，公司负责人还是接下了这份订单，并安排贾坤良来负责完成合作。
)QAS 7w#k 合作就是克难攻坚，就是竭尽全力。技术还是空白，贾坤良就按图索骥，是仿照，也是
学习，更是一种探索。
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RN"Ur'+ 那段时间，贾坤良真是没日没夜。紧盯为客户定制的晶圆加热器生产情况，这款加热器是先锋自主研发的新品，贾坤良非常关心产品的参数、质量情况。
(-%1z_@Y 由于客户需要的零部件是不常用的陶瓷材质，而陶瓷焊接设备短时间内无法购买，贾坤良便只能带着生产出的零部件多次自驾去苏州、上海的外协厂商进行焊接。
2P,{`O1] 为了加快交付进度，确保项目节点顺利推进，有一个多月的时间，贾坤良几乎每天都在靖江和苏州、上海的外协厂商之间来回穿梭，凌晨四五点出发，深夜十一二点才能回来，而回来之后也不能休息，必须立刻对焊接好的零部件进行检测。
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J 就这样，不到一年时间，客户要求的首批产品就试制成功，经过对比测试，性能与国外产品相当，达到使用要求，如今早已实现了量产。
~%!"!Z4 贾坤良觉得，以前的努力仅仅是一种铺垫、探索，仿制的过程毕竟会受到瓶颈的限制。之前先锋客户的半导体设备精密零部件大部分依赖进口，2015年还遇到被外国企业以大制小“卡脖子”的事件，加之使用和仿制国外的技术、设备、零件会受到诸多的限制：
价格高、交货周期长、维修不方便等等。“唯有不断研发创新，才能实现半导体装备关键零部件的国产化替代，才能提升半导体产业链、供应链韧性和
安全水平。”
@TvDxY1)6Z 贾坤良潜心研究，以全新视角系统、全面剖析问题，找到直接原因，低成本、高效益地解决问题。2016年末，一些曾经不得不高价进口的核心部件也实现了量产，产品价格也从原先进口的4万美元/台（套）降至1.5万美元/台（套）。
('1]f?:M 高均匀性晶圆加热器是先锋精密科技的主要产品。在攻克高均匀性晶圆加热器难题时，贾坤良更是灵活运用TRIZ创新理论，解决了晶圆加热器高温时的热平衡和均匀性问题。该项目获得2021年
中国创新方法大赛江苏赛区决赛二等奖。
"'*Qq@!3? 喷淋盘是芯片制造设备刻蚀机的主要部件。在央视2018年推出的大型纪录片《大国重器》中，有这样一组镜头：一个直径近半米的喷淋盘上，均匀地分布着超1000个细小的圆孔，反应气体正是通过这些小孔进入反应腔体，在射频作用下形成均匀分布的等离子体。这块喷淋盘就是由先锋研发生产，成为首批国产7纳米等离子刻蚀机的核心部件。为了保证化学气体均匀地进入反应腔体，喷淋盘表面每一个圆孔的直径、内壁都要经得起检验。贾坤良花了近两年时间，参与研发了精密钻孔、精密定位工装等工艺。如今，喷淋盘的成品率从之前的70%提升至99%，成功补上了“中国芯”产业链的重要一环，加速了刻蚀设备实现国产替代的进程。
W0k7( v) 正是因为这种认真劲，他在任职期间参与公司产品技术研发并获得授权专利16项，有力推动了
知识和科技成果转化为实际生产力。
m8<.TCIQ 目前，贾坤良正在带领研发团队进行新的国产化加热器项目。这个项目从2015年开始，中间经历了很多困难和曲折，每次在他们快要放弃的时候，都是贾坤良坚持了下来。如今，项目已经有50多款新品研发成功，一年的产值近4000万元。
%`\=qSf* 精益求精，从制造到智造，贾坤良实现了科技自强。
Wa<SYJ （江苏工人报 张伟 季卫海）
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